В XIX веке при эксплуатации больших паровых котлов часто происходили серьезные инциденты. С таким количеством воды и при таком высоком давлении пара в котле любые дефекты материалов или изготовления могли стать причиной взрыва.

В 1922 году Марк Бенсон запатентовал котел для преобразования воды в пар под высоким давлением. Он занимал меньше места по сравнению с прежними котлами, а также был более безопасным и управляемым. Через год компания «Сименс» приобрела этот патент. Однако выяснилось, что для создания действительно безопасного парогенератора сверхвысокого давления модель Бенсона требуется доработать. Пуск первого коммерческого котла Бенсона производства «Сименс» состоялся в 1927 году на кабельном заводе «Гартенфельд» в Берлине.

Но так как производство парогенераторов не являлось приоритетным направлением деятельности компании, несколько лет спустя «Сименс» передал лицензию на производство котлов по технологии Бенсона предприятиям, специализирующимся на выпуске этой продукции.

В 1955 году в Германии был снят запрет на ядерные исследования. Компания «Сименс» смогла заняться проектированием атомных электростанций. Всего через четыре года в мюнхенском районе Гархинг заработал небольшой исследовательский реактор. Затем в 1965 году появился многоцелевой исследовательский реактор в городе Карлсруэ. С его помощью планировалось накопить опыт по таким связанным с работой атомных электростанций вопросам, как изменение свойств материалов при длительном использовании, стоимость оборудования и эксплуатации, а также загрязнение окружающей среды.

Первым коммерческим успехом этой технологии можно назвать открытие в 1972 году атомной электростанции «Штаде» (Stade) на 660 МВт. Это была первая АЭС, которая позволяла производить электричество с меньшими затратами по сравнению с традиционными электростанциями, что стало стимулом для установления новых рекордов в этой сфере.

Два года спустя началась опытная эксплуатация блока А атомной электростанции «Библис» (Biblis) близ города Вормса. На тот момент это была крупнейшая АЭС в мире, чья мощность превышала 1200 МВт. Этого было достаточно для снабжения электричеством города с населением более двух миллионов человек вместе с промышленными предприятиями.

В 2009 году компания «Сименс» провела пробный пуск самой мощной в мире газовой турбины SGT5-8000H на электростанции «Иршинг 4» (Irsching 4) в Баварии. Спустя более 1500 часов эксплуатации, свыше 1200 из которых при полной нагрузке, и анализа всех результатов измерений, номинальная мощность турбины в простом цикле была увеличена с 340 МВт до 375 МВт. Это обеспечило повышение мощности электростанции комбинированного цикла до уровня более 570 МВт, что, к примеру, достаточно для снабжения электроэнергией такого крупного города, как Гамбург.
 

Установка комбинированного цикла на электростанции «Иршинг 4» была сдана в эксплуатацию в 2011 году, и во время тестового прогона ее КПД достиг 60,75%. Это стало еще одним мировым рекордом этой турбины. Такого результата прежде не удавалось добиться ни на одной из электростанций, работающих на ископаемом топливе.